加熱要素がウエハーを損傷させるのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームを運用しているなら、空気フィルターだけでは十分ではないことはご存知でしょう。本当の問題は、加熱要素です。これらは、最も避けたい時に、ガスや粒子を放出する原因となります。
そのため、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使用しています。これにより、ウエハーに汚れが付着するのを防ぎます。
材料の選定について
通常の石英には不純物が含まれています。高温になると、その不純物が揮発してしまいます。これは良くありません。
私たちは高純度のシリカを使用することで、温度変化のたびに粒子が飛散するのを防ぎます。また、急速な加熱・冷却サイクルに耐えられるように、石英を適切に焼結させています。そうすれば、ひび割れやガラスの破片、微細なほこりが工程室内に入ることはありません。
適切な温度管理
私たちは短波長のIRを使用しています。これにより、ウエハー表面に速やかに熱が伝わります。
熱が早く伝われば、ウエハーが極端な高温にさらされる時間も短くなります。これにより、基板上で異常な化学反応が起こるリスクが減少します。
精度が重要です。300mmの装置を使用する場合、ランプの長さや出力は電源に適合していなければなりません。そうでないと、過熱が発生します。また、十分な冷却ファンがなければ、フィラメントが早期に破損してしまいます。
置き換えとメンテナンス
私たちは標準的なコネクタを使用しているので、交換も簡単です。壊れたランプを交換するために、わざわざ配線を直す必要はありません。
ただし、高純度の石英は皮脂に敏感です。指紋一つでもストレスの原因となります。
取り付ける際は、必ず静電気防止の手袋を使用してください。油分が石英に付着すると、フィラメントが破損する前に石英自体が壊れてしまいます。これは小さな工夫ですが、大きなメリットがあります。