ウェーハ加工ツール用温度センサー

加熱要素がウエハーを損傷させるのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームを運用しているなら、空気フィルターだけでは十分ではないことはご存知でしょう。本当の問題は、加熱要素です。これらは、最も避けたい時に、ガスや粒子を放出する原因となります。 そのため、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使...