クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター

クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営しているなら、たった一つの微粒子がどれほど大きな問題になるかご存知でしょう。わずかな酸化物の破片や、ヒーターから放出されるガスだけでも、ウェーハや光学部品は破壊されてしまいます。 通常、こうした問題の原因は標準的な抵抗式ヒーターです。これらは劣化した...