ウェーハ用高精度IRセンサー

赤外線加熱と強制送風：ウェーハを加熱するにはどちらが良いのか？ 熱風から赤外線加熱に切り替えるということは、単に部品を交換するだけではありません。それは、エネルギーをウェーハ表面に伝達する方法全体を変えることです。 一度、強制送風方式を考えてみてください。これは対流を利用しており、つまり、ウェーハ...