壊れた1つのランプが、全体の生産を台無しにするのを防ぎましょう。 大量生産のMEMS製造では、1つの故障が全週分の作業を台無しにしてしまうこともあります。 赤外線ランプが壊れると、単に生産が停止するだけでなく、石英の破片や金属の粒子がウェーハに付着してしまいます。これは本当に厄介な状況です。だから...

ファブ内での二酸化炭素削減：乾燥プロセスについて話しましょう 正直に言えば、半導体製造工場は莫大なエネルギーを消費しています。そのエネルギーの大部分は、ウェーハから水分を取り除くための乾燥処理に使われていますが、その際に熱や汚れによってウェーハが損傷しないように注意が必要です。カーボンニュートラル...

Micro LEDラインにおいて、乾燥は単なる「休止時間」ではなく、取り扱いを誤ることが許されない歩留まりの要因である。フォトレジストのソフトベークや洗浄後の乾燥中に温度の乱れが発生すると、ライン幅が目標値から外れ、残留物が残り、パーティクルカウントが増加する。ヒーターが不安定になると、スケジュー...

フレキシブルディスプレイラインにおけるポストフォトレジスト乾燥工程は、単なる待機時間ではない。これは明確な制御ポイントである。加熱を急ぎすぎると、溶剤の急激な蒸発が表面に皮膜を形成し、欠陥を残す。逆に保持時間が長すぎると、熱負荷が基板のTFTにまで及び、ライン幅のずれを引き起こし歩留まりを低下させ...