半導体ヒーター用熱電対

フォトレジストを焼成する際には、わずかな温度の変動でも許されません。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃の誤差が生じると、ウェーハ全体の寸法精度に影響が出ます。検査員が気づく前に、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような損失を未然に防ぐために、半導体ヒーター用の熱電対を開発しました。 重...