壊れたヒーターがウェーハを台無しにするのを防ごう 水素センサーを製造している方なら、加熱処理の段階で問題が発生しやすいことをご存知でしょう。高負荷の生産を行うと、赤外線ランプは非常に大きな圧力にさらされます。 最悪の場合、チューブが破損してしまいます。これは単に停止時間の問題だけではありません。石...

加熱要素がウエハーを損傷させるのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームを運用しているなら、空気フィルターだけでは十分ではないことはご存知でしょう。本当の問題は、加熱要素です。これらは、最も避けたい時に、ガスや粒子を放出する原因となります。 そのため、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使...

壊れた1つのランプが、全体の生産を台無しにするのを防ぎましょう。 大量生産のMEMS製造では、1つの故障が全週分の作業を台無しにしてしまうこともあります。 赤外線ランプが壊れると、単に生産が停止するだけでなく、石英の破片や金属の粒子がウェーハに付着してしまいます。これは本当に厄介な状況です。だから...

無駄な熱の放出を止めよう 通常の赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。つまり、360度全方位にエネルギーが散らばってしまいます。 狭い半導体製造装置の中で作業を行う際、これは大きな問題です。ランプを点灯させると、そのエネルギーの大部分がセンサーパッケージに届く代わりに...

赤外線加熱と強制送風：ウェーハを加熱するにはどちらが良いのか？ 熱風から赤外線加熱に切り替えるということは、単に部品を交換するだけではありません。それは、エネルギーをウェーハ表面に伝達する方法全体を変えることです。 一度、強制送風方式を考えてみてください。これは対流を利用しており、つまり、ウェーハ...