クリーンルームでのより効率的な硬化処理方法 半導体製造工場で働いたことがある人なら、空気の品質を損なわずに感光材や接着剤を乾燥させるのがどれほど大変かご存知でしょう。通常は強制送風を利用しますが、実際にはクリーンルーム内に熱風を送り込むのは大変な作業です。ISO基準を維持するために、HVACシステ...

高価な装置をオーブンのように使わないでください 一般的な加熱要素は、どうしても乱暴な加熱を行います。熱が360度方角に放出されるのです。クリーンルームでは、これは大きな問題です。 熱があらゆる方向に放出されると、高価な機器の内壁がその熱を吸収してしまいます。その結果、「高温の壁」ができてしまい、オ...

ウェーハの加熱を正しく行うために 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハ全体に均一に熱を与える必要がありますが、同時に汚染が起こってしまっては困ります。まさに細心の注意が必要な作業です。多くの場合、アルミニウム製の反射板が使われますが、問題は、この反射...

クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営しているなら、たった一つの微粒子がどれほど大きな問題になるかご存知でしょう。わずかな酸化物の破片や、ヒーターから放出されるガスだけでも、ウェーハや光学部品は破壊されてしまいます。 通常、こうした問題の原因は標準的な抵抗式ヒーターです。これらは劣化した...

クリーンルームを安全に保つために：赤外線ヒーターの真実 クリーンルームでは、わずかなミスも許されません。ほんの少しのほこりや電気的な不安定さがあれば、大量のウェーハが廃棄処分になってしまいます。さらに悪いことに、装置全体が停止してしまう可能性もあります。 このような環境用に赤外線ヒーターを作る際、...