加熱要素がウエハーを損傷させるのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームを運用しているなら、空気フィルターだけでは十分ではないことはご存知でしょう。本当の問題は、加熱要素です。これらは、最も避けたい時に、ガスや粒子を放出する原因となります。 そのため、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使...

壊れた1つのランプが、全体の生産を台無しにするのを防ぎましょう。 大量生産のMEMS製造では、1つの故障が全週分の作業を台無しにしてしまうこともあります。 赤外線ランプが壊れると、単に生産が停止するだけでなく、石英の破片や金属の粒子がウェーハに付着してしまいます。これは本当に厄介な状況です。だから...

装置が溶けるのを防ぐ：ウェーハを加熱するためのより良い方法 半導体ウェーハを加熱するために赤外線ヒーターを使用したことがある人なら、その苦労がわかるでしょう。実際にウェーハを加熱するのは簡単です。問題は、高価な機器がその熱を吸収してしまうことを防ぐことです。 一般的な赤外線ランプは、エネルギーをあ...

赤外線加熱と強制送風：ウェーハを加熱するにはどちらが良いのか？ 熱風から赤外線加熱に切り替えるということは、単に部品を交換するだけではありません。それは、エネルギーをウェーハ表面に伝達する方法全体を変えることです。 一度、強制送風方式を考えてみてください。これは対流を利用しており、つまり、ウェーハ...

リソグラフィーの工程において、ハードベイク時に1℃の温度変動が生じても、それは「リスク」とは言えません。それは製造を停止しなければならない状況です。重要な寸法制御が規格を外れてしまい、そのロットは使用不可能になってしまいます。 熱管理がうまく機能するかどうかを決定する要素は、ウェーハ硬化用ランプ内...

FO-WLPプロセスにおいては、RDLの稳定性は焼成時から始まります。フォトレジストのソフトベイクやケースの硬化処理中に1°Cの温度変動があると、線幅が変化したり、気泡が発生したりし、すでにリソグラフィ工程を通過したウェハーでも不良になってしまいます。そこで、私たちはウェーハ単位でのパッケージング...