クリーンルームでのより効率的な硬化処理方法 半導体製造工場で働いたことがある人なら、空気の品質を損なわずに感光材や接着剤を乾燥させるのがどれほど大変かご存知でしょう。通常は強制送風を利用しますが、実際にはクリーンルーム内に熱風を送り込むのは大変な作業です。ISO基準を維持するために、HVACシステ...

ウェーハの加熱を正しく行うために 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハ全体に均一に熱を与える必要がありますが、同時に汚染が起こってしまっては困ります。まさに細心の注意が必要な作業です。多くの場合、アルミニウム製の反射板が使われますが、問題は、この反射...

クリーンルームを安全に保つために：赤外線ヒーターの真実 クリーンルームでは、わずかなミスも許されません。ほんの少しのほこりや電気的な不安定さがあれば、大量のウェーハが廃棄処分になってしまいます。さらに悪いことに、装置全体が停止してしまう可能性もあります。 このような環境用に赤外線ヒーターを作る際、...