熱を適切な場所に送るための手段：金メッキされた赤外線ランプ
スマートファブを運営している人なら、ウェーハの処理やCVD処理をうまく行うのがどれほど難しいかご存知でしょう。その鍵はやはり「熱」です。しかし問題は、熱が四方八方に散らばってしまうことです。
そこで役立つのが、金メッキされた赤外線ランプです。エネルギーがチャンバーの壁に逃げてしまうのを防ぐために、薄い金の層を使ってエネルギーを集中させます。つまり、これは熱を反射する鏡のようなものです。
仕組みは以下の通りです。
通常の石英ランプは、放射エネルギーをあちこちに放出します。これは非効率的です。しかし、ランプの背面に金を塗ることで、すべての赤外線エネルギーを前方に集中させることができます。そうすることで、基板に強力な熱が当たります。
最良の点は、目標温度に到達するために高い出力を必要としないことです。これにより、より効率的になります。
速度が全てです。
ミリ秒単位で時間が計測される現代では、抵抗加熱器がゆっくり温まるのを待つわけにはいきません。これらのランプは異なります。非常に高速です。
PIDコントローラーやPLCに直接接続できるため、即座に設定を調整できます。数秒以内に温度を上げたり下げたりできるので、生産ラインが厳格なタイムスケジュールに従って動作している場合には非常に便利です。
取り付けについての注意点。
ダウンタイムを避けるために、これらのランプは簡単に交換できるように設計されています。既存のシステムに簡単に接続できます。
ただし、このランプは非常に多くのエネルギーを狭い範囲に集中させるため、冷却ファンやヒートシンクが十分でないと、周囲のセンサーが損傷する可能性があります。
このランプを使えば、過程での推測を不要にし、自動化されたラインに必要な熱を正確に供給できます。