もう、ランプの破損によってウェーハの製造が台無しになるのを防ぎましょう。
高負荷の状態でIRランプが破損してしまったことがある人なら、その恐怖をよく理解できるでしょう。本当に最悪な状況です。
問題は単に停止時間だけではありません。石英の破片や金属片がウェーハに降り注ぎます。一度破損すると、二次的な汚染によって全体のウェーハを廃棄しなければならないのです。大変な手間とコストがかかりますが、これは完全に避けられる問題です。
だからこそ、私たちはこのような故障を防ぐための加熱システムを開発したのです。
秘密はアルミニウムにあります。
私たちは高純度のアルミニウム製の反射板を使用していますが、それは単に熱をウェーハに戻すだけではありません。実際には、熱の緩衝材として機能します。
また、熱がランプの端部に戻らないように、形状を調整しています。これにより、高ワット数の状態でも石英と金属の接続部分が壊れることがありません。
でも、もしランプが破損してしまったらどうするの？
実際、私たちは単に最善を願うだけではありません。故障が起こり得ると想定しています。
そのため、物理的な防御策を講じています。つまり、チューブが破損した瞬間に破片を捕捉する保護装置です。そうすれば、破片がウェーハに落ちることはありません。
これは簡単な安全装置で、多くの問題を解決してくれます。
熱についてもう少し説明します。
高密度出力のために石英を限界まで使うのは、常にバランスを取る必要があります。しかし、このような安全装置があれば、放射パターンを少し変えることができます。
オープン型のランプと比べて、熱分布にわずかな変化が生じるため、PIDコントローラーを調整する必要があります。しかし、これは安心感のための小さな代償に過ぎません。
私たちは、24時間365日稼働できるようにこの装置を設計しています。高反射率のアルミニウムと「防御優先」の設計を組み合わせることで、1台のランプの故障が何百万ドルもの製造工程を台無しにする心配から解放されます。
単に接続すればよく、閾値を設定すれば、残りの部分はこの装置が引き受けてくれます。