店舗を安全に保つために：IRランプと揮発性化学物質 正直に言えば、赤外線加熱ランプを化学洗浄ラインの近くに設置するのは、まるで火を扱うようなものです。燃えやすい、または爆発しやすい溶剤を扱う場合、通常の開放型ランプを使うのは危険極まりないことです。それは、事故が起きる可能性のある状態だと言えます。...

熱の無駄遣いをやめよう：IR加熱の理にかなった使い方 半導体製造工場で働いたことがある人なら、その苦労が分かるでしょう。正確な温度制御が必要であり、しかもすぐにそれが求められます。私たちの多くは、この仕事をこなすために赤外線加熱を利用しています。しかし実際には、みんなが注目するのはランプそのもので...

ファブ内での二酸化炭素削減：乾燥プロセスについて話しましょう 正直に言えば、半導体製造工場は莫大なエネルギーを消費しています。そのエネルギーの大部分は、ウェーハから水分を取り除くための乾燥処理に使われていますが、その際に熱や汚れによってウェーハが損傷しないように注意が必要です。カーボンニュートラル...

スマートファブで適切な温度管理を実現するには もしIndustry 4.0向けのスマートファブを構築するのであれば、熱の扱い方を見直す必要があります。従来のやり方では遅すぎます。デジタルツインの速さに追いつくことはできず、また、効率的に運営するために必要なデータも得られません。 そこで役立つのが高...

高価な装置をオーブンのように使わないでください 一般的な加熱要素は、どうしても乱暴な加熱を行います。熱が360度方角に放出されるのです。クリーンルームでは、これは大きな問題です。 熱があらゆる方向に放出されると、高価な機器の内壁がその熱を吸収してしまいます。その結果、「高温の壁」ができてしまい、オ...

オーブンを待つのはやめましょう：なぜ赤外線照射が熱風乾燥より優れているのか 多くの半導体製造ラインでは、依然として熱風を使った乾燥処理が行われています。これは古い手法であり、空気を動かして加熱し、その熱が基板の奥深くまで届くことを期待するだけです。 問題点は、この方法が非常に遅いということです。高...

実際の製造現場では、どうしても予期せぬ問題が発生します。例えば、ディスクの接着処理において温度が規格から外れてしまうと、結果的に製品が廃棄されてしまいます。温度変動は単に材料を無駄にするだけでなく、その後のリソグラフィーやパッケージング工程における作業効率も低下させます。ですから、プロセスの安定性...

フレキシブルディスプレイラインにおけるポストフォトレジスト乾燥工程は、単なる待機時間ではない。これは明確な制御ポイントである。加熱を急ぎすぎると、溶剤の急激な蒸発が表面に皮膜を形成し、欠陥を残す。逆に保持時間が長すぎると、熱負荷が基板のTFTにまで及び、ライン幅のずれを引き起こし歩留まりを低下させ...

Role ファブフロアでは、フォトレジストのベイク中に2℃の変動があれば、ライン幅がナノメートル単位で変わる。乾燥中に単一の粒子が混入すると、多数の不良が発生する可能性がある。これがこの高温炉が存在する理由であり、熱処理工程のばらつきを排除するために設計された。温度が単なるパラメータではなく、プロ...