熱を適切な場所に送るための手段：金メッキされた赤外線ランプ スマートファブを運営している人なら、ウェーハの処理やCVD処理をうまく行うのがどれほど難しいかご存知でしょう。その鍵はやはり「熱」です。しかし問題は、熱が四方八方に散らばってしまうことです。 そこで役立つのが、金メッキされた赤外線ランプで...

ウェーハの加熱を正しく行うために 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハ全体に均一に熱を与える必要がありますが、同時に汚染が起こってしまっては困ります。まさに細心の注意が必要な作業です。多くの場合、アルミニウム製の反射板が使われますが、問題は、この反射...

フォトレジストを焼成する際には、わずかな温度の変動でも許されません。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃の誤差が生じると、ウェーハ全体の寸法精度に影響が出ます。検査員が気づく前に、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような損失を未然に防ぐために、半導体ヒーター用の熱電対を開発しました。 重...

製造現場では、焼成温度が半度だけ変動しても、フォトレジストの品質が悪化し、廃棄処分になってしまいます。歩留まりを守るためには、温度制御は後回しにできない重要な要素です。それは、まさに実際の工程パラメータとして扱われるべきものです。 内部で何が重要か 私たちが開発したこのPID制御式半導体ヒーターは...

リソグラフィー工程においては、ソフトベイクとハードベイクという二つの加熱プロファイルが、重要な寸法制御やフォトレジストの形状を決定します。ホットゾーンの温度が5℃変動すれば、エッチング層の品質が悪化してしまいます。私たちは、このような変動を排除するために半導体用の赤外線ヒーターを開発しました。 技...