グローブボックス内での熱の無駄遣いを止めよう
もし、グローブボックス内でウェーハを加熱したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。大量の電力を投入しても、そのエネルギーの大部分は無駄に消えてしまいます。一般的なIRヒーターは、エネルギーをあらゆる方向に放出するため、投入した電力の半分は基板ではなくチャンバーの壁を温めるだけです。これは明らかな無駄です。
そこで、私たちはヒーター部品に金コーティングされた反射器を組み込むようにしました。
なぜ金か？
それは単に見た目の問題ではありません。金は赤外線を反射するのに非常に優れています。反射器に薄い金の層を加えることで、逃げていく光子を再び戻すことができます。これにより、散乱した光が集中したビームに変わります。つまり、電力を増やさずに、ウェーハにより多くの熱を与えることができるのです。これは、単純な道具を精密な道具に変えるようなものです。
熱の扱い方
最も良い点は、エネルギーが集中的に与えられるため、温度上昇にかかる時間が大幅に短縮されることです。目標温度に到達したら、すぐに作業を続けることができます。
ただし注意が必要です。一度に多くの電力が集中するため、注意が必要です。ウェーハが非常に薄かったり、隙間が狭すぎる場合、過熱による問題が発生する可能性があります。PIDコントローラの設定をしっかり確認し、目標温度を超えてしまわないようにしましょう。
取り付け方法
グローブボックスのスペースは限られていることを知っています。そのため、これらの反射器は小型でシンプルな設計になっており、既存のIRアレイに簡単に交換できます。
また、金が効果的に機能するため、同じ効果を得るためには、ランプの出力を下げることができます。これにより、フィラメントへの負担が大幅に減り、ランプの寿命も長くなります。
ただ一つ注意点があります。金の表面を清潔に保つことです。反射器に少しでもほこりや酸化物が付着すると、効率が大幅に低下します。常に光沢を保てば、問題なく機能します。