熱を適切な場所に送るための手段：金メッキされた赤外線ランプ スマートファブを運営している人なら、ウェーハの処理やCVD処理をうまく行うのがどれほど難しいかご存知でしょう。その鍵はやはり「熱」です。しかし問題は、熱が四方八方に散らばってしまうことです。 そこで役立つのが、金メッキされた赤外線ランプで...

クリーンルームでのより効率的な硬化処理方法 半導体製造工場で働いたことがある人なら、空気の品質を損なわずに感光材や接着剤を乾燥させるのがどれほど大変かご存知でしょう。通常は強制送風を利用しますが、実際にはクリーンルーム内に熱風を送り込むのは大変な作業です。ISO基準を維持するために、HVACシステ...

もう、ランプの破損によってウェーハの製造が台無しになるのを防ぎましょう。 高負荷の状態でIRランプが破損してしまったことがある人なら、その恐怖をよく理解できるでしょう。本当に最悪な状況です。 問題は単に停止時間だけではありません。石英の破片や金属片がウェーハに降り注ぎます。一度破損すると、二次的な...

店舗を安全に保つために：IRランプと揮発性化学物質 正直に言えば、赤外線加熱ランプを化学洗浄ラインの近くに設置するのは、まるで火を扱うようなものです。燃えやすい、または爆発しやすい溶剤を扱う場合、通常の開放型ランプを使うのは危険極まりないことです。それは、事故が起きる可能性のある状態だと言えます。...

オーブンを待つのはやめましょう：なぜ赤外線照射が熱風乾燥より優れているのか 多くの半導体製造ラインでは、依然として熱風を使った乾燥処理が行われています。これは古い手法であり、空気を動かして加熱し、その熱が基板の奥深くまで届くことを期待するだけです。 問題点は、この方法が非常に遅いということです。高...

スマートファブで適切な温度を維持する方法 半導体工場を運営している方なら、熱処理にはUHPヒーターランプが最適であることはご存知でしょう。しかし、「インダストリー4.0」の時代においては、温度自体だけが重要なわけではありません。実際には、その熱がどのようにデータと連携しているかが重要です。 なぜ赤...

ASMLリソグラフィーランプのスペア部品：あなたのウエハーラインに最適な製品です。 率直に言えば、私たちのASMLリソグラフィーランプのスペア部品は、世界中のどの競合他社とも対抗できる性能を持っています。実際の数値でその性能を証明しましょう。 これは単なる宣伝ではありません。厳格な精度管理、優れた...

リソグラフィーの工程において、ハードベイク時に1℃の温度変動が生じても、それは「リスク」とは言えません。それは製造を停止しなければならない状況です。重要な寸法制御が規格を外れてしまい、そのロットは使用不可能になってしまいます。 熱管理がうまく機能するかどうかを決定する要素は、ウェーハ硬化用ランプ内...

リソグラフィー工程においては、ソフトベイクとハードベイクという二つの加熱プロファイルが、重要な寸法制御やフォトレジストの形状を決定します。ホットゾーンの温度が5℃変動すれば、エッチング層の品質が悪化してしまいます。私たちは、このような変動を排除するために半導体用の赤外線ヒーターを開発しました。 技...

製造現場において、フォトレジストのベークは「あったらいいな」ではなく、厳密な制約条件である。ホットゾーンで2℃のずれが生じると、クリティカルディメンションのバイアスが急激に変化し、過去には許容されていたような異常を許してくれない。こうした現実を前提に、当社はウェーハ処理用の赤外線クォーツランプを設...

フレキシブルディスプレイラインにおけるポストフォトレジスト乾燥工程は、単なる待機時間ではない。これは明確な制御ポイントである。加熱を急ぎすぎると、溶剤の急激な蒸発が表面に皮膜を形成し、欠陥を残す。逆に保持時間が長すぎると、熱負荷が基板のTFTにまで及び、ライン幅のずれを引き起こし歩留まりを低下させ...