ウェーハ加熱時の安全距離

装置が溶けるのを防ぐ：ウェーハを加熱するためのより良い方法 半導体ウェーハを加熱するために赤外線ヒーターを使用したことがある人なら、その苦労がわかるでしょう。実際にウェーハを加熱するのは簡単です。問題は、高価な機器がその熱を吸収してしまうことを防ぐことです。 一般的な赤外線ランプは、エネルギーをあ...