熱を適切な場所に送るための手段：金メッキされた赤外線ランプ スマートファブを運営している人なら、ウェーハの処理やCVD処理をうまく行うのがどれほど難しいかご存知でしょう。その鍵はやはり「熱」です。しかし問題は、熱が四方八方に散らばってしまうことです。 そこで役立つのが、金メッキされた赤外線ランプで...

はじめに 想像してみてください。半導体の大量生産が行われている最中に、赤外線ランプが故障してしまったとします。これは単なる作業の中断にとどまらず、大きな問題です。ガラスの破片やガスの放出などが原因で、ウェーハが汚染される可能性があります。 そこで私たちは、このような事態を未然に防ぐために、金製の反...