クリーンルームでのより効率的な硬化処理方法
半導体製造工場で働いたことがある人なら、空気の品質を損なわずに感光材や接着剤を乾燥させるのがどれほど大変かご存知でしょう。通常は強制送風を利用しますが、実際にはクリーンルーム内に熱風を送り込むのは大変な作業です。ISO基準を維持するために、HVACシステムを頑張って使わざるを得ません。
そこで役立つのが赤外線ランプです。
部屋全体を加熱する代わりに、赤外線ランプはエネルギーを直接対象物に照射します。これにより、エネルギーの消費量も抑えられます。また、大きなファンや加熱要素を常時動かす必要がないため、電気代も安く済みます。さらに、このランプは数秒で所定の温度に到達します。オーブンが温まるのを待っている間に無駄にエネルギーを消費することもありません。つまり、地球にとっても優しいのです。
難しい点は設置方法です。
単純にランプを棚の上に置くだけではいけません。ウェハーを汚染しないためには、石英製のケースを使用します。わずかな不純物でも、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。
また、波長にも注意が必要です。エネルギーが目標とする材料に当たるようにしなければ、下にある回路が壊れてしまいます。
そして何よりも、熱密度に注意しましょう。生産速度を上げるために無理に出力を高くしてしまうと、 hotspotsが発生したり、基板が変形してしまったりします。私は常に、PIDコントローラーやサーモカップルを使うことを推奨します。これにより、温度を2℃以内に保つことができ、多くの問題を回避できます。
なぜ切り替えるべきか？
科学的な理由以外にも、スペースの面でも利点があります。赤外線ランプを使えば、対流式オーブンよりもずっとコンパクトです。簡単に交換でき、通常はエネルギー消費量が30％から50％削減されます。
接続も簡単ですが、一つアドバイスがあります。電源を確認してください。これらの装置は起動時に大きな電流が流れるため、ブレーカーが切れてしまうことがあります。そんな状況にならないようにしましょう。