클린룸에서 보다 효과적인 치료 방법 반도체 공장에서 일해본 사람이라면, 공기의 질을 해치지 않으면서 포토레지스트를 건조시키거나 접착제를 경화시키는 것이 얼마나 어려운지 잘 알고 있을 것입니다. 보통은 강력한 열공기를 사용해야 하지만, 클린룸 내부에 열공기를 순환시키는...

귀중한 장비를 오븐으로 만드는 것을 그만두세요! 대부분의 일반적인 가열 요소들은 열을 사방으로 방출합니다. 즉, 360도로 열이 퍼져나가는 것이죠. 클린룸에서는 이런 상황이 정말 위험합니다. 열이 사방으로 퍼지면, 값비싼 장비의 내벽들이 그 열을 흡수하게 됩니다. 그...

웨이퍼의 적절한 가열 방법 반도체 청정실에서 일해본 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼 전체에 고르게 열을 전달해야 하지만, 오염물질로 인해 문제가 생겨서는 안 됩니다. 정말 까다로운 상황이죠. 대부분의 사람들은 알루미늄 반사체를 사용하지만, 문제는 이...

Class 100 등급의 청정실을 진정으로 깨끗하게 유지하는 방법 만약 Class 100(ISO 5) 등급의 청정실을 운영하고 있다면, 단 한 개의 미세한 입자라도 존재한다는 것이 얼마나 큰 문제인지 잘 알고 있을 것입니다. 작은 산화된 입자나 가열 요소에서 나오는...

클린룸을 안전하게 유지하기 위해: 적외선 가열의 진실 클린룸에서는 오차의 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 먼지 한 알이나 갑작스러운 전기적 문제만 있어도, 그 결과로 생산된 웨이퍼들이 모두 버려질 수 있습니다. 더 나쁜 경우에는 시설 전체가 멈추게 됩니다. 이러한...