PID 제어 반도체 히터

제조 현장에서는, 굽는 온도가 0.5도만 변해도 포토레지스트의 품질이 좋은 것에서 폐기해야 할 수준으로 변할 수 있습니다. 수율을 보호하려면 열 제어는 별도로 고려할 사항이 아니라, 실제 공정 파라미터로서 반드시 고려되어야 합니다. 중요한 요소들 우리가 개발한 이...