클린룸에서 보다 효과적인 치료 방법
반도체 공장에서 일해본 사람이라면, 공기의 질을 해치지 않으면서 포토레지스트를 건조시키거나 접착제를 경화시키는 것이 얼마나 어려운지 잘 알고 있을 것입니다. 보통은 강력한 열공기를 사용해야 하지만, 클린룸 내부에 열공기를 순환시키는 것은 큰 문제가 됩니다. ISO 기준을 유지하기 위해 HVAC 시스템과 싸워야 하는 셈입니다.
이때 바로 적외선 램프가 유용합니다. 적외선 램프는 방 전체를 가열하는 대신, 에너지를 직접 목표물에 전달합니다. 이 방식은 훨씬 효율적이며 깨끗합니다. 게다가 대형 송풍기나 가열 장치를 계속 가동할 필요도 없어 에너지 비용도 상당히 줄어듭니다. 또한, 적외선 램프는 몇 초 만에 작동 온도에 도달합니다. 오븐이 따뜻해질 때까지 시간을 낭비할 필요도 없습니다. 그야말로 지구에도 좋은 방법입니다.
문제는 설정 방법입니다.
그냥 램프를 벤치 위에 놓으면 안 됩니다. 웨이퍼가 오염되는 것을 막기 위해 석영 커버를 사용해야 합니다. 조금이라도 불순물이 섞이면 전체 제품이 폐기됩니다. 또한, 파장도 신중하게 선택해야 합니다. 에너지가 목표물에만 닿도록 해야 하며, 아래쪽의 회로를 손상시키지 않아야 합니다.
그리고 열 밀도도 주의해야 합니다. 처리 속도를 높이기 위해 너무 많은 에너지를 사용하면 과열된 부분이 생기거나, 최악의 경우 기판이 변형될 수 있습니다. 저는 항상 PID 컨트롤러와 서미스터 피드백 루프를 사용할 것을 권장합니다. 이렇게 하면 온도를 2°C 이내로 유지할 수 있어 많은 문제를 예방할 수 있습니다.
왜 굳이 바꿔야 할까요?
과학적인 이유 외에도, 공간 절약 측면에서도 유리합니다. 적외선 벤치는 대류식 오븐보다 훨씬 작습니다. 간단한 교체만으로도 에너지 사용량을 30%에서 50%까지 줄일 수 있습니다.
설치도 간단하지만, 한 가지 팁을 드리자면 전원 공급 장치를 확인해야 합니다. 이 장비들은 처음 작동할 때 큰 전류가 흐르므로, 중단된 차단기를 다시 설정하는 데 시간을 낭비하고 싶지는 않을 것입니다.