클린룸을 안전하게 유지하기 위해: 적외선 가열의 진실
클린룸에서는 오차의 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 먼지 한 알이나 갑작스러운 전기적 문제만 있어도, 그 결과로 생산된 웨이퍼들이 모두 버려질 수 있습니다. 더 나쁜 경우에는 시설 전체가 멈추게 됩니다.
이러한 환경을 위해 적외선 히터를 만들 때, 가열 요소 자체는 비교적 간단한 부분입니다. 하지만 진짜 문제는 전기 절연입니다.
왜 모든 램프를 반드시 테스트해야 하는가?
우리는 ‘샘플 검사’를 하지 않습니다. 그건 우리가 감수할 수 없는 위험한 방법입니다.
모든 램프는 공장을 떠나기 전에 반드시 전압 내성 및 절연 저항 테스트를 거칩니다. 정말로 모든 램프가 그렇습니다.
우리는 절연 성능을 최대한으로 높입니다. 왜냐하면 우리는 눈에 보이지 않는 문제들, 예를 들어 석영 속의 미세한 균열이나 약간만 손상된 밀봉 부분 등을 찾고 싶기 때문입니다. 램프가 우리 공장에서 고장나는 것이 기계 내부에서 고장나는 것보다 훨씬 낫습니다. 우리는 전류가 반드시 필라멘트 내부에만 있도록 주의 깊게 관리합니다.
열과 전압 문제 처리
고출력 램프는 엄청난 열을 발생시킵니다. 이러한 열应力으로 인해 재료가 팽창하고 수축하게 되며, 결국 절연 성능이 저하될 수 있습니다.
공장에서 절연 강도를 확인함으로써, 램프가 열을 견디면서도 전류가 채널로 새어나가지 않도록 할 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점은, 전력 공급 장치도 반드시 규격에 맞아야 한다는 것입니다. 조금 더 많은 열을 얻기 위해 과도한 전압을 가한다면, 우리가 절연 성능을 테스트하는 데 들인 노력이 모두 수포로 돌아갈 것입니다. 그러지 마세요.
올바르게 설치하는 방법
이러한 히터들은 열이 매우 깨끗하기 때문에 정밀한 건조 및 경화 작업에 매우 유용합니다. 하지만 이러한 정밀도는 전체 시스템이 제대로 구성되어 있을 때에만 가능합니다.
그냥 주변에 있는 전선을 사용해서는 안 됩니다. 임시 대안도 안 되며, 손상된 커넥터도 안 됩니다.
반드시 우리가 지정한 고온용 전선을 사용해야 합니다. 만약 전선이 손상되거나 커넥터가 산화되어 있다면, 공장에서의 절연 성능이 아무리 좋아도 결국 단락이 발생할 것입니다. 연결 부위를 깨끗하게 유지한다면, 히터는 제 역할을 할 것입니다.