Class 100 등급의 청정실을 진정으로 깨끗하게 유지하는 방법
만약 Class 100(ISO 5) 등급의 청정실을 운영하고 있다면, 단 한 개의 미세한 입자라도 존재한다는 것이 얼마나 큰 문제인지 잘 알고 있을 것입니다. 작은 산화된 입자나 가열 요소에서 나오는 가스라도 있으면, 웨이퍼나 광학 부품이 손상될 수 있습니다.
일반적인 저항식 히터들은 이러한 상황에서 문제를 일으키는 원인이 됩니다. 이러한 히터들은 쉽게 파손되거나 산화되며, 이 정도의 높은 정밀도를 요구하는 환경에는 적합하지 않습니다. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 인파란등을 사용합니다.
왜 석영이 효과적인가?
우리는 융합된 실리카 석영을 사용합니다. 좋은 점은 극도로 높은 온도에서도 파괴되거나 미세한 먼지가 발생하지 않는다는 것입니다. 게다가 열은 단파 인파로 전달되므로, 부품 주변의 공기가 가열되어 먼지가 생기는 것을 방지합니다. 공기의 움직임이 적으니 제품도 더 깨끗해집니다. 간단하면서도 효과적인 방법입니다.
설치 시 주의해야 할 사항
이러한 등기구들은 매우 높은 열 밀도를 견딜 수 있습니다. 작은 100mm 크기의 등기구부터, 전체 웨이퍼를 가열할 때 사용하는 500mm 크기의 등기구까지 다양한 크기를 사용할 수 있습니다. 사용 공간에 맞게 와트수를 조절할 수 있습니다.
주의해야 할 점은 연결부입니다. 우리는 R7s나 SK15와 같은 커넥터를 사용하여 연결 부분을 단단히 고정시킵니다. 연결부가 느슨하면 아크가 발생하여 등기구가 손상될 뿐만 아니라 금속 증기가 청정실 내로 유입될 수 있습니다. 누구도 그런 상황을 원하지 않습니다.
가열하려는 물체에 따라 서로 다른 코팅을 사용할 수도 있습니다. 투명한 석영은 순수한 단파 에너지를 제공하지만, 고온으로 인한 문제를 방지하기 위해 얇은 필름 코팅을 추가할 수도 있습니다.
현장에서의 몇 가지 주의사항
석영 등기구는 매우 빠르게 온도에 도달하지만, 동시에 매우 뜨거워집니다. 만약 고밀도의 2000W 등기구를 좁은 공간에 설치한다면, 냉각 팬이 충분히 작동해야 합니다. 만약 공기가 등기구 주위를 제대로 흐르지 않으면, 연결부가 손상될 수 있습니다. 또한 배선도 반드시 확인해야 합니다. 배선이 방사선 영역에서 멀리 떨어져 있도록 해야 합니다. 그렇지 않으면 절연체가 녹을 수 있습니다.