반도체 청정실용 트롤리 히터

웨이퍼의 적절한 가열 방법 반도체 청정실에서 일해본 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼 전체에 고르게 열을 전달해야 하지만, 오염물질로 인해 문제가 생겨서는 안 됩니다. 정말 까다로운 상황이죠. 대부분의 사람들은 알루미늄 반사체를 사용하지만, 문제는 이...