웨이퍼 경화 램프용 반사기

리소그래피 공정에서, 하드 베이크 과정 중 1°C의 온도 변동은 “위험”이 아닙니다. 그것은 생산이 중단되는 원인이 됩니다. 치명적인 수준의 크기 제어 오차가 발생하여, 해당 제품군은 생산될 수 없습니다. 열 관리가 제대로 이루어지는지를 결정하는 가장 중요한 요소는...