Below you will find pages that utilize the taxonomy term “석영” 웨이퍼용 적외선 석영 램프 Fab 층에서 포토레지스트 베이크는 ‘있으면 좋은’ 조건이 아니다. 엄격한 제약 조건이다. 핫존 온도가 2°C만 변해도 치수 편차가 빠르게 이동하며, 과거에 용인되던 변동은 더 이상 허용되지 않는다. 우리는 이러한 현실을 바탕으로 웨이퍼 처리를... Read more...
웨이퍼용 적외선 석영 램프 Fab 층에서 포토레지스트 베이크는 ‘있으면 좋은’ 조건이 아니다. 엄격한 제약 조건이다. 핫존 온도가 2°C만 변해도 치수 편차가 빠르게 이동하며, 과거에 용인되던 변동은 더 이상 허용되지 않는다. 우리는 이러한 현실을 바탕으로 웨이퍼 처리를... Read more...
