웨이퍼용 고정밀 IR 센서

적외선 가열과 강제 공기 순환 가열: 웨이퍼를 가열하는 데 어떤 방식이 적합할까? 뜨거운 공기를 사용하는 방식에서 적외선 가열 방식으로 전환하는 것은 단순히 부품을 교체하는 것 이상의 의미를 가집니다. 이는 에너지를 웨이퍼 표면에 전달하는 방식 자체가 완전히 바뀐다는...