플렉시블 디스플레이 건조 램프 제조공정

플렉서블 디스플레이 라인에서 포토레지스트 건조 단계는 단순한 정지가 아니다. 이것은 명확한 제어 지점이다. 열을 너무 빠르게 가하면 용매가 급격히 증발하면서 표면이 굳어 결함이 발생한다. 반대로 너무 오래 유지하면 열 예산이 하부 TFT로 스며들어 라인폭이 변동하고...