재료 소각 과정에서의 적외선 가열

300mm 라인에서 애싱은 단순한 “번-오프”가 아니다. 이는 엄격한 열 예산을 관리하는 작업이다. 스트립 후 남은 포토레지스트 잔여물이 다음 리소그래피 레이어에 영향을 줄 수 있으며, 가열이 균일하지 않으면 수율을 저해하는 열 폭주 위험이 발생한다. 우리는 이러한...