반도체 히터용 열전대

사진감응제를 사용하는 공정에서는 온도 변동을 용납할 수 없습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 2°C만큼의 온도 변동이 생기면 웨이퍼 전체에 걸쳐 CD 값에 변동이 생깁니다. 검사원이 이를 발견하기 전에 이미 생산 효율이 떨어집니다. 저희는 반도체 히터용 서...