グローブボックス用赤外線ヒーター素子

グローブボックス内での熱の無駄遣いを止めよう もし、グローブボックス内でウェーハを加熱したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。大量の電力を投入しても、そのエネルギーの大部分は無駄に消えてしまいます。一般的なIRヒーターは、エネルギーをあらゆる方向に放出するため、投入した電力の半分は基板で...