もう、ランプの破損によってウェーハの製造が台無しになるのを防ぎましょう。 高負荷の状態でIRランプが破損してしまったことがある人なら、その恐怖をよく理解できるでしょう。本当に最悪な状況です。 問題は単に停止時間だけではありません。石英の破片や金属片がウェーハに降り注ぎます。一度破損すると、二次的な...

はじめに 想像してみてください。半導体の大量生産が行われている最中に、赤外線ランプが故障してしまったとします。これは単なる作業の中断にとどまらず、大きな問題です。ガラスの破片やガスの放出などが原因で、ウェーハが汚染される可能性があります。 そこで私たちは、このような事態を未然に防ぐために、金製の反...

リソグラフィーの工程において、ハードベイク時に1℃の温度変動が生じても、それは「リスク」とは言えません。それは製造を停止しなければならない状況です。重要な寸法制御が規格を外れてしまい、そのロットは使用不可能になってしまいます。 熱管理がうまく機能するかどうかを決定する要素は、ウェーハ硬化用ランプ内...