壊れたヒーターがウェーハを台無しにするのを防ごう
水素センサーを製造している方なら、加熱処理の段階で問題が発生しやすいことをご存知でしょう。高負荷の生産を行うと、赤外線ランプは非常に大きな圧力にさらされます。
最悪の場合、チューブが破損してしまいます。これは単に停止時間の問題だけではありません。石英の破片や化学物質がウェーハに降りかかってしまうのです。1本のチューブが破損するだけで、数秒で全てのウェーハがダメになってしまいます。大変な混乱を招き、コストもかさんでしまいます。
なぜチューブが破損するのか？
通常、熱衝撃や局所的な過熱が原因です。これに対処するため、私たちは高温にも耐えられる高純度の石英を使用しています。
しかし、本当の鍵はシール部分にあります。電極の形状を調整することで、熱がチューブの端に集中するのを防ぎます。そうすれば、ガラスに応力がかからず、強い負荷がかかっても割れることはありません。
破片を防ぐ方法
私たちはガラスだけでなく、ランプの周囲に保護用のケースも設置しました。これはまるで安全網のようなものです。もしチューブが破損しても、その破片がセンサーの基板上に落ちるのを防ぎます。
さらに、特定の石英コーティングを使用して波長を調整します。これにより、熱が正確に必要な場所に届き、周囲の部品が過熱することがありません。
バランスの取り方
高密度の赤外線加熱は、高速な加熱が可能であるという利点があります。しかし、その一方で、真空系や冷却システムに大きな負担がかかります。空気の流れが適切でないと、ハウジングが過熱してしまい、ランプが本来より早く壊れてしまいます。出力するワット数と、システムが処理できる熱量の間のバランスを見つける必要があります。
私たちが開発したヒーターは、簡単に交換できるように設計されています。接続して電力を調整すればすぐに使用できます。面倒な手続きは一切ありません。ウェーハに熱を与え、部屋の中に破片が入らないようにすればよいのです。