灰化工程加熱赤外線

300mmラインにおいて、アッシングは単なる「焼き切り」ではなく、厳密な熱予算の管理である。ストリップ後に残留するフォトレジスト残渣は次のリソグラフィ層にゴーストとして影響を及ぼす可能性があり、加熱が均一でなければ熱暴走を引き起こし、歩留まりが損なわれるリスクがある。当社の赤外線アッシングモジュー...