在无尘室中，有一种更智能的固化方式。如果您曾在半导体工厂工作过，就会明白：如何在不破坏室内空气质量的前提下让光刻胶干燥或让粘合剂固化，其实是一件很麻烦的事情。通常，人们会使用热风来达到这个目的。但问题是，将热风送入无尘室并非易事。为了保持ISO标准，不得不不断调节暖通空调系统，这实在很麻烦。
这时，红外线灯就派上用场了。红外线灯不会加热整个房间，而是直接将能量传递到需要固化的部位。这种方式既高效又干净。由于不需要持续使用大型鼓风机和加热元件，因此能源消耗也相对较低。此外，这类灯能在几秒钟内达到工作温度，无需长时间等待烤箱升温。这无疑对环境更为友好。
不过，设置起来有点复杂。 您不能随便把灯放在工作台上。我们通常使用石英外壳来保护灯泡，因为绝对不能让任何杂质污染晶圆。哪怕只有微小的杂质存在，整批产品都会被判定为次品。
另外，还需要注意波长问题。能量应该直接作用于目标材料上，而不是穿透材料并损坏其内部的电路。
最后，一定要注意热密度的问题。如果为了加快处理速度而过度提高功率，那么就可能会出现局部过热的情况，甚至导致基材变形。我建议使用PID控制器和热电偶反馈回路，这样就能将温度控制在2℃以内，从而避免很多麻烦。
为什么要换用这种设备呢？ 从科学角度来说，这种设备确实更高效。红外线灯所需的空间远远小于传统对流式烤箱。这种更换方式通常能减少30%到50%的能源消耗。
安装起来也很简单，不过有一点需要注意：要检查电源供应情况。这些设备在启动时会产生较大的电流，没人愿意浪费时间去重新设置断路器吧。