别再等待烤箱加热了：为何红外固化技术更胜一筹
许多半导体生产流程仍然依赖热风循环来对工件进行固化处理。这是一种过时的方法：让空气流动并加热它，然后希望这些热量能够渗透到材料内部从而完成固化过程。
问题在于，这种方法的效率极低。在高压生产环境中，这不仅仅是麻烦事，更是严重的瓶颈，会阻碍生产效率的提升。
我们已开始用经过认证的红外固化灯来取代那些效率低下的系统。以下就是为什么这种转变能改变一切的原因。
去除中间环节
想想热风的工作原理吧。空气必须先接触到晶圆，再将热量传递给晶圆，然后再等待热量渗透进去。实际上，空气起到了“中间人”的作用，而中间人总是会拖慢效率。
而红外灯则省去了整个过程。它们直接发出电磁波，这些电磁波可以直达材料内部。这样一来，无需等待房间温度升高，也无需等待烤箱达到设定温度。对于工厂里的工程师来说，这无疑是个福音，因为每单位产品的处理时间大大缩短了。根据材料的厚度以及所需达到的温度不同，处理时间可减少50%到80%。
当然也有缺点（以及我们的解决方案）
不过，红外技术并非万能的。因为它产生的能量密度很高，如果传送带移动速度太慢，就有可能烧坏材料表面。因此，不能简单地“设置好后就不管了”。需要使用PID控制器来精确控制温度变化。
此外，我们明白，在工厂里，“清洁”意味着真正意义上的清洁。因此，我们的石英外壳都经过了低气体释放量的测试。这样，就不必担心有杂质破坏一批晶圆了。
节省空间
除了效率之外，还有设备尺寸的问题。热风烤箱通常体积庞大，会占用大量宝贵的生产空间。而红外固化隧道则更为紧凑。
如果想要扩大生产能力，就不能让热风系统成为瓶颈。只需将红外灯装置连接起来，调整好与材料的距离，就能大幅提升生产效率。这是一种更高效的生产方式。