工厂干燥系统的能源审计

在芯片制造厂中减少碳排放：谈谈干燥技术吧 说实话，半导体制造厂是能源消耗大户。其中很大一部分能源被用于干燥过程——也就是试图去除晶圆上的水分，同时避免因高温或杂质而损坏晶圆。如果想要实现碳中和目标，就不能继续沿用旧方法了。这时，红外线加热技术就派上用场了。 红外线加热技术的优势 传统的对流式干燥方...