正确控制晶圆加热效果
如果您曾在半导体洁净室工作过，就会明白其中的难度。需要确保晶圆表面的加热效果均匀一致，同时又要避免任何污染因素的干扰。这真是一门艺术。大多数人最初会使用铝制反射器，但问题在于它们会吸收过多的红外辐射。实际上，您支付的费用中有一部分并没有真正用于加热晶圆上。
这时，金涂层就派上用场了。
为什么选择金？
听起来很高级，但实际上这只是基于物理原理而已。金能反射大约98%的长波红外辐射。也就是说，热量不会浪费在反射器本身上，而是直接照射到晶圆上。这样一来，您就不必增加功率就能让晶圆获得足够的热量。非常高效且简单。
控制热量
不过，这里有个难题：高功率的红外灯会产生大量的热量。如果反射器的位置有哪怕几毫米的偏差，就容易出现热点现象。而热点则会导致晶圆变形。
为了保持环境清洁，我们使用高纯度的石英灯。这样就不会产生任何气体或污垢。不过，还是要注意冷却问题。由于金反射器会释放大量能量，因此灯壳的背面也可能会变得非常热。如果通风系统不够好，就有可能损坏热传感器，甚至烧毁附近的电子设备。
实际应用中的注意事项
在工厂环境中，关键在于精准对齐。我们设计的这些产品可以直接替换现有的设备，因此无需长时间停机。只需将它们连接到现有的控制器上即可使用。您会发现，达到目标温度所需的时间大大缩短了。
不过有一点需要注意的是：**金涂层非常讨厌指纹。**如果您的手指上带有油脂，那么在加热过程中，这些油脂会被烧掉，从而留下永久性的暗斑，进而破坏加热的均匀性。所以，请务必保持金涂层的清洁。