MEMS传感器晶圆干燥加热器

别让一个坏掉的灯泡毁掉整个生产批次 在大规模MEMS生产中，哪怕只有一个灯泡出现问题，都可能让整个生产过程陷入混乱。如果红外灯管破裂了，那不仅仅是设备停机的问题——还有石英碎片和金属颗粒会落到晶圆上，这简直就是一场灾难。正因如此，我们才设计出这样的红外加热器，确保不会因为某个零件的故障而引发更大的...