MEMS传感器晶圆干燥加热器
别让一个坏掉的灯泡毁掉整个生产批次 在大规模MEMS生产中,哪怕只有一个灯泡出现问题,都可能让整个生产过程陷入混乱。如果红外灯管破裂了,那不仅仅是设备停机的问题——还有石英碎片和金属颗粒会落到晶圆上,这简直就是一场灾难。正因如此,我们才设计出这样的红外加热器,确保不会因为某个零件的故障而引发更大的...
工厂干燥系统的能源审计
在芯片制造厂中减少碳排放:谈谈干燥技术吧 说实话,半导体制造厂是能源消耗大户。其中很大一部分能源被用于干燥过程——也就是试图去除晶圆上的水分,同时避免因高温或杂质而损坏晶圆。如果想要实现碳中和目标,就不能继续沿用旧方法了。这时,红外线加热技术就派上用场了。
红外线加热技术的优势 传统的对流式干燥方...
微型LED晶圆干燥加热器
在Micro LED生产线上,干燥不是可以暂停的“间歇”,而是一个必须精准控制的良率杠杆。光刻胶软烘或清洗后干燥过程中一旦温度出现波动,会导致线宽偏离目标,残留物增加,粒子计数上升。加热器一旦失准,调度人员就得承担其造成的报废和返工成本。
核心技术要点 我们基于短波红外加热元件和石英隔离的热传导通...
柔性显示干燥灯制造厂
在柔性显示生产线上,光刻胶干燥这一步不仅仅是一个暂停环节,而是一个明确的控制点。加热过快,溶剂会突然挥发形成表皮,导致缺陷;加热时间过长,则热量会渗透到底层薄膜晶体管(TFT),引起线宽漂移,影响良率。灯光必须在恰当的时间和位置精确加热薄膜,不能有任何偏差。
底层关键要素
我们采用近红外(NIR)...