用于晶圆的精密红外传感器

红外加热与强制空气加热：哪种方式更适合用来加热晶圆呢？ 从强制空气加热换成红外加热，不仅仅是更换一个部件而已，而是从根本上改变了能量传递的方式。 先来看看强制空气加热的原理吧。它依赖于对流效应，也就是说，必须依靠空气来为晶圆表面提供热量。虽然这种方式可行，但效率较低。而红外加热则不同，它直接利用辐...