防止加热元件破坏您的晶圆 如果您在100级洁净室中工作，那么您应该知道，空气过滤器只能起到一半的作用。真正的问题出在加热元件上——它们很容易在关键时刻释放出有害物质或颗粒物。 因此，我们使用高纯度的合成石英来制造红外线灯管。这样就能避免杂质污染晶圆。 材料的选择 普通石英通常含有杂质。当温度升高时...

别让一个坏掉的灯泡毁掉整个生产批次 在大规模MEMS生产中，哪怕只有一个灯泡出现问题，都可能让整个生产过程陷入混乱。如果红外灯管破裂了，那不仅仅是设备停机的问题——还有石英碎片和金属颗粒会落到晶圆上，这简直就是一场灾难。正因如此，我们才设计出这样的红外加热器，确保不会因为某个零件的故障而引发更大的...

防止设备过热：一种更有效的晶圆加热方式 如果您曾经使用过红外加热装置来加热半导体晶圆，那么您一定知道其中存在的难题。其实，让晶圆变热并不难——那只是最简单的一部分。真正棘手的是如何防止昂贵的设备因吸收过多热量而损坏。 普通的红外灯会向各个方向散发热量。如果任由其继续发光，那么处理腔室的内壁就会被烤...

红外加热与强制空气加热：哪种方式更适合用来加热晶圆呢？ 从强制空气加热换成红外加热，不仅仅是更换一个部件而已，而是从根本上改变了能量传递的方式。 先来看看强制空气加热的原理吧。它依赖于对流效应，也就是说，必须依靠空气来为晶圆表面提供热量。虽然这种方式可行，但效率较低。而红外加热则不同，它直接利用辐...

在光刻工序中，如果在高温烘烤过程中温度出现1°C的波动，那可不仅仅是“风险”而已——这会导致生产流程中断。因为关键尺寸的控制会超出标准范围，整个批次的产品都无法继续加工。 决定热处理过程是否能够顺利进行的关键因素，就是晶圆固化灯中的反射器。没有它，就无法实现精确的温度控制。 实际上，我们需要的是可...

在FO-WLP生产线上，RDL的稳定性从烘烤阶段就开始决定。如果光刻胶软化烘烤或封装材料固化过程中的温度变化超过1°C，就可能导致线宽出现波动，进而产生气泡，甚至破坏已经通过光刻工艺加工好的晶圆。因此，我们设计了这种晶圆级封装加热器，以确保各批次晶圆的温度控制始终处于稳定状态。 该加热器采用石英-...

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是“可有可无”的条件，而是严格约束。热区温度漂移 2°C 会迅速导致关键尺寸偏差，生产线无法容忍过去曾被认可的偏差范围。我们基于这一现实设计了用于晶圆处理的红外石英灯：温度稳定不变，轮班之间、日日常都保持一致。 技术重点 该灯采用短波红外石英灯管，将热量快速、直接传递至晶...

在Micro LED生产线上，干燥不是可以暂停的“间歇”，而是一个必须精准控制的良率杠杆。光刻胶软烘或清洗后干燥过程中一旦温度出现波动，会导致线宽偏离目标，残留物增加，粒子计数上升。加热器一旦失准，调度人员就得承担其造成的报废和返工成本。 核心技术要点 我们基于短波红外加热元件和石英隔离的热传导通...