晶圆加工设备用温度传感器

防止加热元件破坏您的晶圆 如果您在100级洁净室中工作，那么您应该知道，空气过滤器只能起到一半的作用。真正的问题出在加热元件上——它们很容易在关键时刻释放出有害物质或颗粒物。 因此，我们使用高纯度的合成石英来制造红外线灯管。这样就能避免杂质污染晶圆。 材料的选择 普通石英通常含有杂质。当温度升高时...