用于半导体加热器的热电偶

在光刻过程中，光阻的烘烤过程对温度精度要求极为严格。如果在软烘或硬烘过程中温度出现2°C的偏差，就会导致晶圆上各区域的CD值出现差异。在检测人员发现问题之前，产品的良率就已经下降到了不可接受的水平。我们专门为半导体加热器设计了这种热电偶，以便从源头避免这类问题。 关键点在于： 这种热电偶专为需要精...