PID控制式半导体加热器

在半导体制造过程中，如果烘烤温度出现半度的偏差，就足以导致光刻胶的性能从良好变为无法使用。若想保证生产良率，那么温度控制绝不能被忽视——它必须被视为一个重要的工艺参数。 关键在于内部机制 我们设计的这种PID控制的半导体加热器，其工作原理基于闭环控制机制，专门为光刻工艺中的烘烤环节而设计。它能确保...