晶圆加热的安全距离

防止设备过热：一种更有效的晶圆加热方式 如果您曾经使用过红外加热装置来加热半导体晶圆，那么您一定知道其中存在的难题。其实，让晶圆变热并不难——那只是最简单的一部分。真正棘手的是如何防止昂贵的设备因吸收过多热量而损坏。 普通的红外灯会向各个方向散发热量。如果任由其继续发光，那么处理腔室的内壁就会被烤...