用于光刻机的石英玻璃防护罩
保障店铺安全:红外线灯与易挥发化学品 说实话,将红外线加热灯放置在化学清洗设备附近,简直就像是在玩火一样危险。当处理那些容易燃烧或爆炸的溶剂时,普通结构的加热灯不仅会带来风险,更可能引发灾难。
为了解决这个问题,我们会用特殊的石英玻璃将加热元件包裹起来,并确保其密封性良好。这样一来,热量与有害气体...
红外石英灯用于晶圆
在晶圆厂车间,光刻胶烘烤不是“可有可无”的条件,而是严格约束。热区温度漂移 2°C 会迅速导致关键尺寸偏差,生产线无法容忍过去曾被认可的偏差范围。我们基于这一现实设计了用于晶圆处理的红外石英灯:温度稳定不变,轮班之间、日日常都保持一致。
技术重点
该灯采用短波红外石英灯管,将热量快速、直接传递至晶...