防止加热元件破坏您的晶圆
如果您在100级洁净室中工作，那么您应该知道，空气过滤器只能起到一半的作用。真正的问题出在加热元件上——它们很容易在关键时刻释放出有害物质或颗粒物。
因此，我们使用高纯度的合成石英来制造红外线灯管。这样就能避免杂质污染晶圆。
材料的选择
普通石英通常含有杂质。当温度升高时，这些杂质会挥发出来，这就很糟糕了。
我们选择高纯度的二氧化硅，这样在温度发生变化时，灯管就不会释放出颗粒物。此外，我们还确保石英能够承受快速的升温降温过程，从而避免出现裂纹或玻璃碎片，进而防止微小的灰尘进入处理腔体。
正确控制温度
我们使用短波红外线，因为这种光线能快速照射到晶圆表面。
加热速度越快，晶圆处于极端温度的时间就越短。这大大降低了化学反应的风险。
精度非常重要。如果您使用的是300毫米的晶圆加工设备，那么灯管的长度和功率必须与电源匹配。如果不匹配，就会出现局部过热的情况。而如果功率过高，又没有合适的冷却系统来散热，那么灯丝就会过早烧断。
更换灯管并保持其性能
我们使用标准连接器，因此更换灯管非常简单。您不必花费大量时间来重新接线。
不过需要提醒的是：高纯度石英对皮肤油脂很敏感。一个指纹就可能导致应力点产生。因此，在安装灯管时，请务必佩戴无绒手套。如果石英表面沾上了油脂，它就会提前失效。这个小小的细节可以避免很多麻烦。