微型LED晶圆干燥加热器

在Micro LED生产线上，干燥不是可以暂停的“间歇”，而是一个必须精准控制的良率杠杆。光刻胶软烘或清洗后干燥过程中一旦温度出现波动，会导致线宽偏离目标，残留物增加，粒子计数上升。加热器一旦失准，调度人员就得承担其造成的报废和返工成本。 核心技术要点 我们基于短波红外加热元件和石英隔离的热传导通...